原子力显微镜（AFM）分析提供近原子分辨率的图像，用于测量表面形貌。  AFM也称为 扫描探针显微镜。 它能够量化低至埃级的样品的表面粗糙度。 除了显示表面图像之外，AFM分析还可以提供特征尺寸（例如台阶高度和其他尺寸）的定量测​​量。 此外，原子力显微镜测量的高级模式还可以对各种其他物理特性（如附着力，模量，掺杂剂分布，电导率，表面电势，电场和磁畴）进行定性映射。

此外，原子力显微镜是该装置成像部分的一部分智能图表

理想用途

• 评估晶圆上的晶圆或薄膜（例如SiO2，GaAs，SiGe等）加工前后
• 调查处理效果（例如等离子体处理） 生物医学设备，例如隐形眼镜，导管和涂层支架
• 检查表面粗糙度对粘附力的影响
• 评估加工/图案化晶圆上的沟槽形状/清洁度
• 确定形态是否是表面雾霾的来源
• 映射激活载波的分布
• 表征薄导电膜的均匀性
• 测量图案化晶圆上的畴之间的台阶高度
• 三维表面形貌成像，包括表面粗糙度，晶粒尺寸，台阶高度和间距
• 成像其他样品特性，包括磁场，电容和摩擦
• 相成像可以研究表面的物理特性，例如模量和附着力

优势强项

• 首先，量化表面粗糙度
• 其次，可以完整分析300 mm以下的晶片
• 第三，高空间分辨率
• 最后，对导电和绝缘样品进行成像

缺点限制

• 扫描范围限制：z方向横向（xy）90 µm，z方向垂直5 µm
• 极端粗糙或形状奇特的样品存在潜在问题
• 尖端引起的错误是可能的
• 许多电和磁模式仅限于定性或半定量测量

技术规格

1. 检测到信号：地形
2. 垂直分辨率：0.1Å
3. 成像/映射：是
4. 横向分辨率/探针尺寸：2-150纳米
5. 进阶分析模式：
   • SCM：扫描电容显微镜
   • C-AFM：导电原子力显微镜
   • TUNA：隧道AFM
   • KPFM：开尔文探针力显微镜
   • SSRM：扫描扩展电阻显微镜
   • EFM：静电力显微镜
   • MFM：磁力显微镜
   • PFQNM：峰值力定量纳米机械显微镜

总之，石油二站实验室可以提供AFM服务，以解决您的材料相关问题。

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